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J-GLOBAL ID：201802287180546861   整理番号：18A1796460

プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第2報)-反応焼結SiC材に対する非球面形状の創成-

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著者 (5件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大久保雄司 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F02-1  発行年： 2018年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超精密加工 ,  精密加工 ,  *反応焼結 ,  炭化ケイ素 ,  球面 ,  空洞共振器 ,  プラズマエッチング ,  *プラズマCVM ,  非球面 ,  マイクロ波空洞共振器
準シソーラス用語： 高精度加工 ,  SiC

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• 須山章子,他 東芝レビュー 58 (2003) 46.
• K. Yamamura, et al., Rev. Sci. Instrum. 74 (2003) 4549.
• K. Yamamura, et al., Ann. CIRP. 57 (2008) 567.
• R. Sun, et al., Sci. Rep. 8 (1978) 2376.

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマCVM ,  高精度加工 ,  研究 ,  反応焼結 ,  SiC ,  非球面 ,  創成