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J-GLOBAL ID：201702271659599569   整理番号：17A0482599

スズのレーザ生成プラズマからの極端紫外(EUV)光の高空間分解能イメージングプレート解析

High-space resolution imaging plate analysis of extreme ultraviolet (EUV) light from tin laser-produced plasmas

著者 (9件)： Musgrave Christopher S. A. (Iyoda Supra-Integrated Material Project, Exploratory Research for Advanced Technology (ERATO), Japan Science and Technology Agency, and Frontier Research Center, Tokyo Institute of Technology, 4259-S2-3 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Murakami Takehiro (Iyoda Supra-Integrated Material Project, Exploratory Research for Advanced Technology (ERATO), Japan Science and Technology Agency, and Frontier Research Center, Tokyo Institute of Technology, 4259-S2-3 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Ugomori Teruyuki (Institute of Laser Engineering, Osaka University, 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Yoshida Kensuke (Institute of Laser Engineering, Osaka University, 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Fujioka Shinsuke (Institute of Laser Engineering, Osaka University, 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Nishimura Hiroaki (Institute of Laser Engineering, Osaka University, 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Atarashi Hironori (Iyoda Supra-Integrated Material Project, Exploratory Research for Advanced Technology (ERATO), Japan Science and Technology Agency, and Frontier Research Center, Tokyo Institute of Technology, 4259-S2-3 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Iyoda Tomokazu (Iyoda Supra-Integrated Material Project, Exploratory Research for Advanced Technology (ERATO), Japan Science and Technology Agency, and Frontier Research Center, Tokyo Institute of Technology, 4259-S2-3 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Nagai Keiji (Iyoda Supra-Integrated Material Project, Exploratory Research for Advanced Technology (ERATO), Japan Science and Technology Agency, and Frontier Research Center, Tokyo Institute of Technology, 4259-S2-3 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 3  ページ： 033506-033506-8  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端紫外リソグラフィによる高体積製造能力の出現で,光源設計とコスト効率での不断の改善が要求される。現在,光強度と転換効率(CE)の測定は電荷結合素子,Faradayカップなど,しかし同様にりん光体イメージングプレート(IP)(BaFBr:Eu)によって得られる。IPは光と高エネルギー種に感度が良く,それはレーザ生成プラズマ(LPP)からの,極端紫外(EUV)光の研究に理想的である。この作業で我々はIPを大角分布(10°~90°)の観測に使った。我々はEUV光を発生するためにスズターゲットを,高エネルギーレーザ(1064nm Nd:YAG,10¹⁰及び10¹¹W/cm²)によってアブレートした。IPにおけるユウロピウムイオンは,EUV光と高エネルギー種への露光から,高エネルギー状態で捕捉された。光強度は角依存した;従ってIPの励起は角に依存し,それでLPPについて高度に情報を与えた。我々は高空間分解能(345μm,0.2°)角分布と,グレージング分光計(5~20nm格子)データを,同時に異なるターゲットからIPの距離(103mmと200mm)で得た。二つのレーザシステムとIPの型(BAS-TRとBAS-SR)もまた比較した。IPデータからの余弦当てはめ値を,CEが13.5nm2%帯域幅で1.6%(SD±0.2)であると,計算するために使った。最後にIPの実際的評価と損傷問題を明らかにする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,  極端紫外線 ,  *光源 ,  レーザプラズマ ,  スズ ,  イメージングプレート ,  空間分解能 ,  ユウロピウム ,  角度依存性 ,  プラズマ
準シソーラス用語： 極端紫外光リソグラフィー

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： スズ ,  レーザ生成プラズマ ,  極端紫外 ,  EUV ,  高空間分解能 ,  イメージングプレート ,  解析