特許
J-GLOBAL ID：200903001468670366

MgO蒸着材およびMgO膜、その製造方法

発明者：
豊口 銀二郎

豊口 銀二郎 について

, 
桜井 英章

桜井 英章 について

, 
黒光 祥郎

黒光 祥郎 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  江口 昭彦 ,  村山 靖彦 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-107789
公開番号（公開出願番号）：特開2005-097724
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】 電子ビーム蒸着法にて、MgO蒸着材の蒸発速度・成膜速度の改善を図る。【解決手段】 気孔率が5〜30%、気孔径が0.1〜500μmの多結晶ペレットとした。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
多孔質焼結体とされ、平均気孔径が0.1〜500μm程度に設定されるMgO蒸着材。
IPC (5件)：
C23C14/24 ,  C04B35/04 ,  C04B38/00 ,  C04B38/02 ,  C23C14/08
FI (5件)：
C23C14/24 E ,  C04B38/00 303Z ,  C04B38/02 ,  C23C14/08 J ,  C04B35/04 Z
Fターム (14件)：
4G019FA11 ,  4G019JA05 ,  4G030AA07 ,  4G030BA01 ,  4G030CA04 ,  4G030CA09 ,  4G030GA14 ,  4G030GA18 ,  4K029BA43 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DC09
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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