MgO蒸着材およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335652
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226960
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の膜特性の向上を図る。【解決手段】 MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、リンP含有量が0.01〜30ppmの多結晶とした。

請求項（抜粋）：

MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、リンP含有量平均値が0.01〜30ppmの多結晶ペレットとされることを特徴とするMgO蒸着材。

IPC (4件)：

C23C 14/24 , C04B 35/053 , H01J 9/02 , H01J 11/02

FI (4件)：

C23C 14/24 E , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B , C04B 35/04 A

Fターム (11件)：

4G030AA07 , 4G030AA41 , 4G030BA01 , 4G030CA05 , 4K029DB05 , 4K029DB08 , 4K029DB21 , 5C027AA07 , 5C040GE07 , 5C040GE09 , 5C040JA07

引用特許：

出願人引用 (12件)

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