特許
J-GLOBAL ID：200903002490672794

切削装置の運転方法

発明者：
秋田 壮一郎

秋田 壮一郎 について

, 
神垣 政圭

神垣 政圭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-164415
公開番号（公開出願番号）：特開2007-331049
出願日： 2006年06月14日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】被加工物の保持手段の保持面に対する切削ブレードの実際の位置(高さ)をきわめて正確に認識することができるセットアップ工程を行い、これによって被加工物に対する切削加工の精度をより一層向上させることができる切削装置の運転方法を提供する。【解決手段】光学式センサにより切削ブレード30の刃先30aの位置を示す切削ブレード位置データAを認識する。次に、チャックテーブル21に保持した基板9に切削ブレードで溝9bを形成し、その底部をカメラ50で撮像して焦点距離から溝底部の位置である溝底部データb1を取得する。また、同様にカメラによってチャックテーブル上の基板の表面位置を示す基板表面位置データb2を取得する。(b2-b1)と切削ブレード位置データAとから被加工物に形成する溝の溝深さデータDを求める。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、 前記保持面と平行な回転軸に同軸的に固定された円形の切削ブレードと、 前記保持手段と前記切削ブレードとを、前記保持面に直交する方向に沿って相対移動させて両者を接近・離間させる切り込み送り手段と、 前記保持手段と前記切削ブレードとを、前記保持面と平行な方向に沿って相対移動させて両者を接近・離間させる加工送り手段と、 前記切り込み送り手段による前記相対移動方向に沿って前記保持手段に対し相対移動可能に設けられ、該保持手段の方向に配置される被加工物を撮像する撮像手段とを備えた切削装置を用いて、 前記保持手段に保持した被加工物に前記切削ブレードを切り込ませて該被加工物を切削加工するにあたり、 前記保持手段の前記保持面に対する前記切削ブレードの刃先である外周端縁の相対的な位置を示す切削ブレード位置データAを、両者が非接触の状態で認識する第1のセットアップ工程と、 前記切削ブレード位置データAに基づき、前記切り込み送り手段によって前記切削ブレードを前記保持手段に接近させ該切削ブレードを保持手段に保持した被加工物に切り込ませて所定深さの溝を形成し、次いで、前記撮像手段によって形成した溝の底部を撮像して該溝の底部の位置を示す溝底部データBを取得するとともに、該撮像手段で同様に撮像することにより、前記被加工物の表面の位置を示す基準位置データCを取得する第2のセットアップ工程とを行い、 次いで、前記第2のセットアップ工程で得られた溝底部データBと基準位置データCとから、実際の溝深さデータDを求め、該溝深さデータDに基づいて、前記被加工物に対する前記切り込み送り手段による前記切削ブレードの切り込み送り量を決定することを特徴とする切削装置の運転方法。
IPC (3件)：
B24B 49/04 ,  B24B 49/12 ,  B24B 27/06
FI (3件)：
B24B49/04 Z ,  B24B49/12 ,  B24B27/06 M
Fターム (9件)：
3C034BB93 ,  3C034CA02 ,  3C034CA11 ,  3C034CA22 ,  3C058AA03 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BA07 ,  3C058CB01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
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