特許
J-GLOBAL ID：200903003120200385

露光装置及び方法

発明者：
小森 一樹

小森 一樹 について

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馬場 智之

馬場 智之 について

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石川 弘美

石川 弘美 について

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岡崎 洋二

岡崎 洋二 について

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大森 利彦

大森 利彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について

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フジノン株式会社

フジノン株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-072033
公開番号（公開出願番号）：特開2006-251732
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 装置コストを抑えつつ、2次元的に分布した各描画単位の光量を均一化して高精度な画像露光を行う。【解決手段】 光源から出射されたレーザ光を、主光線の角度に分布を持たせることで光軸中心に比べて周辺部の光密度を高め、周辺部の光輝度を高めたレーザ光としてDMD50に照射する。DMD50により変調された光ビームの光量が、レンズ系の要因により光軸の中心部に比べて周辺部が低下してしまう場合に、その光ビームの露光面での光量分布は均一になるように補正される。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
光ビームを出射する光源と、 画像情報に応じて光変調状態が変化する複数の画素部が2次元的に配列され、前記光源から前記複数の画素部に入射した光ビームを、前記画素部毎に変調する空間光変調素子と、 前記空間光変調素子の光ビーム入射側の光路上に設けられ、空間光変調素子に照射される光ビームの照射領域内での光量に分布を持たせ、空間光変調素子により変調された光ビームの露光面での光量分布が均一になるように補正する光量分布補正手段と、 を有することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  B41J 2/445
FI (3件)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516D ,  B41J3/21 V
Fターム (12件)：
2C162AF23 ,  2C162FA09 ,  2C162FA18 ,  2C162FA44 ,  2C162FA48 ,  2C162FA49 ,  2C162FA50 ,  2C162FA53 ,  2C162FA55 ,  2H097BB01 ,  2H097LA01 ,  5F046DA02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
  • 画像記録方法及び画像記録装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-190433   出願人：富士写真フイルム株式会社
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-128916   出願人：富士写真フイルム株式会社
  • 照明光学系およびそれを用いた露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-194944   出願人：富士写真フイルム株式会社
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