特許
J-GLOBAL ID：200903003694683260
仕上げ研磨用研磨布及び研磨布の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-250471
公開番号（公開出願番号）：特開2006-062058
出願日： 2004年08月30日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】被研磨物の平坦性を向上させることができる仕上げ研磨用の研磨布を提供する。【解決手段】研磨パッドは、ポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシート2を有している。ポリウレタンシート2には、研磨面P側の表面に、緻密な発泡が形成されたスキン層4が形成されている。ポリウレタンシート2は、研磨面Pの裏面Q側が、ポリウレタンシート2の厚さがほぼ一様となるようにバフ処理されている。バフ処理では、成膜時の成膜基材43を剥離後、研磨面Pの表面に圧接ローラ65の平坦な表面を圧接しながら、裏面Q側に出現した凹凸が除去される。バフ処理された裏面Q’側には、PET製フィルムの支持層が貼り合わされている。ポリウレタンシート2の厚さがほぼ一様で、スキン層4がそのまま残される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
軟質プラスチックフォームを有し該軟質プラスチックフォームの表面に発泡表面層が形成された仕上げ研磨用の研磨布において、前記軟質プラスチックフォームは、前記発泡表面層が形成された表面の反対面側が該軟質プラスチックフォームの厚さがほぼ一様となるようにバフ処理されていることを特徴とする研磨布。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058DA17
出願人引用 (2件)
審査官引用 (12件)
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