特許
J-GLOBAL ID：200903003780439828

薄膜の形成方法、及び形成装置

発明者：
飯浜 智美

飯浜 智美 について

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白嵜 友之

白嵜 友之 について

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金子 紀彦

金子 紀彦 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297394
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113214
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：
【要約】【課題】 厚さが均一な有機薄膜を形成する。【解決手段】 移動機構180は、ヒータ110を所定方向に移動させる。ヒータ110は、有機溶液2の塗布対象であるガラス基板1を保持して、所定温度に加熱する。ダイ130は、所定温度に加熱されたガラス基板1上に有機溶液を供給する。センサ130bは、ガラス基板1とダイ130との距離を測定する。コントローラ190は、センサ130bの測定結果に応じて、移動機構180を制御し、ガラス基板1とダイ130との距離を一定に保ちながら、所定速度でヒータ110を移動させて、ガラス基板1上に有機溶液2を塗布して有機薄膜を形成する。
請求項（抜粋）：
溶液の塗布対象である基板を所定の温度に加熱する加熱工程と、所定の温度に加熱された前記基板と、前記溶液を供給するダイの先端に供給された溶液とを接触させる接触工程と、前記基板を所定の速度で移動させて、該基板上の所定領域に前記溶液を塗布する塗布工程と、を備えることを特徴とする薄膜の形成方法。
IPC (7件)：
B05C 5/02 ,  B05C 9/10 ,  B05C 13/00 ,  B05D 1/26 ,  B05D 7/00 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14
FI (7件)：
B05C 5/02 ,  B05C 9/10 ,  B05C 13/00 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 7/00 H ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A
Fターム (23件)：
3K007AB18 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4D075AC03 ,  4D075AC09 ,  4D075AC78 ,  4D075AC93 ,  4D075AC96 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041CA02 ,  4F041CA12 ,  4F042AA06 ,  4F042DA09 ,  4F042DF09 ,  4F042DF34
引用特許：
審査官引用 (11件)
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