特許
J-GLOBAL ID：200903004260018460
エッチング液の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-205123
公開番号（公開出願番号）：特開2007-318172
出願日： 2007年08月07日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】好適なエッチング速度の選択が容易であり、安定したエッチング速度を持続でき、更には、容易に再利用が可能で、再利用場面が拡大された、エッチング液を提供する。特にシリコンウエハに要求されるウェハの平坦度、光沢度の向上、ウエハ全体の「うねり」抑制が充分に期待できる。【解決手段】少なくとも、弗酸、硝酸およびヘキサフルオロ珪酸を含むエッチング液であって、ヘキサフルオロ珪酸濃度が10重量%以上である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
少なくとも、弗酸、硝酸およびヘキサフルオロ珪酸を含み、ヘキサフルオロ珪酸の濃度が10重量%以上であることを特徴とするエッチング液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4K057WA10
, 4K057WB06
, 4K057WE02
, 4K057WE07
, 4K057WE12
, 4K057WN01
, 5F043AA02
, 5F043BB02
, 5F043EE02
