特許
J-GLOBAL ID：200903005108999362

配向膜の製造方法、及び、液体吐出ヘッドの製造方法

発明者：
二瓶 靖和

二瓶 靖和 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-039544
公開番号（公開出願番号）：特開2006-298747
出願日： 2006年02月16日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】セラミックスを含む配向膜を低コストで製造できる配向膜の製造方法を提供する。【解決手段】基板に向けて粉体を噴射して該基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることにより、少なくとも表面における結晶配向が制御された種基板1上にセラミックス膜10を形成する工程(a)と、工程(a)において形成されたセラミックス膜10を熱処理することにより、セラミックス膜に含まれる結晶粒を配向させる工程(b)とを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板に向けて粉体を噴射して該基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることにより、少なくとも表面における結晶配向が制御された種基板上に、原料を含む膜を形成する工程(a)と、 工程(a)において形成された膜を熱処理することにより、前記膜に含まれる結晶粒を配向させる工程(b)と、 を具備する配向膜の製造方法。
IPC (6件)：
C30B 1/04 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/09
FI (6件)：
C30B1/04 ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 J
Fターム (18件)：
2C057AF93 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP51 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BC43 ,  4G077CA03 ,  4G077CA07 ,  4G077CA09 ,  4G077EC03 ,  4G077FE19 ,  4G077HA11 ,  4G077JA03 ,  4G077JA06 ,  4G077JB07
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM