特許
J-GLOBAL ID：200903006022466902

圧電素子、その製造方法、およびタッチパネル装置

発明者：
勝木 隆史

勝木 隆史 について

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中沢 文彦

中沢 文彦 について

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佐野 聡

佐野 聡 について

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高橋 勇治

高橋 勇治 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (4件)： 吉田 稔 ,  田中 達也 ,  仙波 司 ,  鈴木 泰光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-017007
公開番号（公開出願番号）：特開2008-172807
出願日： 2008年01月29日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：
【課題】電気機械変換効率の高い圧電素子、その製造方法、並びに、励振手段および受信手段としてそのような圧電素子を備えるSAW方式タッチパネル装置を、提供すること。【解決手段】本発明の圧電素子Xは、非圧電材料よりなる基板11、圧電膜12、電極13,14を備える。電極13および/または電極14は、基板11および圧電膜12の間に介在し、且つ、Ti,Cr,Ni,Cu,Zn,Pd,Ag,Hf,W,Pt,およびAuからなる群より選択される金属を0.1〜3wt%含有するAl合金よりなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
非圧電材料よりなる基板、圧電膜、第1電極、および第2電極を備え、 前記第1電極および/または前記第2電極は、前記基板および前記圧電膜の間に介在し、且つ、Ti,Cr,Ni,Cu,Zn,Pd,Ag,Hf,W,Pt,およびAuからなる群より選択される金属を0.1〜3wt%含有するAl合金よりなる、圧電素子。
IPC (8件)：
H03H 9/145 ,  G06F 3/043 ,  G06F 3/041 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/25 ,  H03H 3/08
FI (8件)：
H03H9/145 C ,  G06F3/043 ,  G06F3/041 330A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H03H9/25 C ,  H03H3/08
Fターム (17件)：
5B068AA04 ,  5B068BB21 ,  5B068BC07 ,  5B068BC16 ,  5B087AA02 ,  5B087CC13 ,  5B087CC14 ,  5B087CC17 ,  5B087CC47 ,  5J097AA01 ,  5J097AA23 ,  5J097CC01 ,  5J097FF02 ,  5J097FF03 ,  5J097HA02 ,  5J097HA03 ,  5J097KK09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (21件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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