特許
J-GLOBAL ID:200903006175073560
大型精密シート状(半)製品用密封容器
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (4件):
猿渡 章雄
, 波多野 久
, 関口 俊三
, 古川 潤一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-286913
公開番号(公開出願番号):特開2005-173556
出願日: 2004年09月30日
公開日(公表日): 2005年06月30日
要約:
【課題】不適当な応力を及ぼすことなく安全且つ気密に収容・支持し、搬送することの可能な、比較的軽量な大型精密シート状(半)製品用密封容器を与える。【解決手段】互いに当接される周縁フランジ部3を有する本体部10と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状(半)製品を収容するための密封容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ熱可塑性樹脂シートの補強用リブ2を設けた真空または圧空成型体1からなる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
互いに当接される周縁フランジ部を有する本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状(半)製品を収容するための密封容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ熱可塑性樹脂シートの補強用リブを設けた真空または圧空成型体からなることを特徴とする大型精密シート状(半)製品用密封容器。
IPC (4件):
G03F1/14
, B65D85/38
, H01L21/027
, H01L21/68
FI (4件):
G03F1/14 M
, H01L21/68 T
, B65D85/38 Z
, H01L21/30 503E
Fターム (38件):
2H095BE12
, 3E096AA06
, 3E096BA24
, 3E096BA30
, 3E096BB03
, 3E096CA02
, 3E096CA06
, 3E096CA09
, 3E096CB03
, 3E096CC01
, 3E096DA01
, 3E096DA05
, 3E096DA23
, 3E096DA25
, 3E096DB01
, 3E096DB08
, 3E096DC01
, 3E096DC02
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096FA09
, 3E096FA10
, 3E096FA15
, 3E096FA16
, 3E096FA26
, 3E096FA27
, 3E096GA04
, 3E096GA09
, 3E096GA11
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031DA08
, 5F031EA02
, 5F031EA14
, 5F031EA18
, 5F031PA18
, 5F046AA21
引用特許:
出願人引用 (1件)
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ガラス板搬送箱
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-210116
出願人:旭化成工業株式会社
審査官引用 (11件)
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ペリクル収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-273588
出願人:旭化成株式会社, 旭化成電子株式会社
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ペリクル収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-291668
出願人:信越化学工業株式会社
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合成石英ガラス板用容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-113299
出願人:旭硝子株式会社
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精密基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-283007
出願人:信越ポリマー株式会社
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防塵収納ケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-107290
出願人:信越化学工業株式会社
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レチクルケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-164154
出願人:株式会社ニコン
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マスク保護装置の収納ケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-006892
出願人:三井石油化学工業株式会社
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基板収納ケースおよび半導体製造プロセス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-240798
出願人:株式会社ニコン
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ペリクル収納ケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-382693
出願人:三井化学株式会社
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ペリクル収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-195658
出願人:信越ポリマー株式会社
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特開平3-171138
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