排気ガス処理装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003092
公開番号（公開出願番号）：特開2000-197807
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】有機シリコンを含有する排気ガスを、安定的、安全に高温酸化法にて処理する排気ガス処理装置を提供すること。【解決手段】有機シリコンを含有する排気ガスを熱交換器の受熱側へ供給する排気ガス供給手段、受熱側の排気ガスと放熱側の排気ガスとの間で熱交換するための熱交換器、該熱交換器の受熱側を通過した排気ガスを加熱するための加熱手段及び該加熱手段で得られた高温の排気ガスを酸化分解するための反応部を有する排気ガス処理装置であって、前記熱交換器の放熱側へ散水するための散水手段及び散水後の廃水を前記排気ガス処理装置の系外へ排出するための排水手段を有する排気ガス処理装置。

請求項（抜粋）：

有機シリコンを含有する排気ガスを熱交換器の受熱側へ供給する排気ガス供給手段、受熱側の排気ガスと放熱側の排気ガスとの間で熱交換するための熱交換器、該熱交換器の受熱側を通過した排気ガスを加熱するための加熱手段及び該加熱手段で得られた高温の排気ガスを酸化分解するための反応部を有する排気ガス処理装置であって、前記熱交換器の放熱側へ散水するための散水手段及び散水後の廃水を前記排気ガス処理装置の系外へ排出するための排水手段を有することを特徴とする排気ガス処理装置。

IPC (7件)：

B01D 53/46 , B01D 53/44 , B01D 53/74 , F23G 7/06 ZAB , F23G 7/06 101 , F23J 15/04 , H01L 21/31

FI (6件)：

B01D 53/34 120 Z , F23G 7/06 ZAB D , F23G 7/06 101 Z , H01L 21/31 A , B01D 53/34 117 G , F23J 15/00 D

Fターム (30件)：

3K070DA01 , 3K070DA35 , 3K070DA53 , 3K078AA04 , 3K078BA03 , 3K078BA20 , 3K078BA21 , 3K078CA13 , 4D002AA26 , 4D002AB03 , 4D002AC10 , 4D002BA05 , 4D002BA12 , 4D002BA13 , 4D002BA14 , 4D002CA01 , 4D002EA05 , 4D002EA09 , 4D002GA01 , 4D002GA02 , 4D002GB02 , 4D002GB03 , 4D002GB04 , 4D002HA03 , 4D002HA06 , 4D002HA08 , 5F045AC07 , 5F045AC08 , 5F045BB10 , 5F045EG07

引用特許：

出願人引用 (13件)

排ガスの悪臭成分除去方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-299820 出願人：バブコック日立株式会社
特開昭61-125514
特開昭63-286611

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審査官引用 (13件)

排ガスの悪臭成分除去方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-299820 出願人：バブコック日立株式会社
特開昭61-125514
特開昭63-286611

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