特許
J-GLOBAL ID：200903011279799272
露光装置およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 哲也
, 齋藤 和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-128679
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311193
出願日： 2004年04月23日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 原版の近傍にマスキングブレードを配置することを可能にし、良好な露光性能を達成する。【解決手段】 第1のテーブル即ち天板30に搭載された原版としてのマスク32を、光源からの光で照明する照明装置を用いて照明する露光装置において、EUV光を吸収する材質により構成された遮光部を具備し、露光に寄与しない不要な光を遮光するマスキングブレード28,31を、前記第1のテーブルに具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
テーブルに搭載された原版を、光源からの光で照明する照明装置を用いて照明する露光装置において、露光に寄与しない不要な光を遮光するマスキングブレードを備え、
該マスキングブレードは、スリット幅を変更するブレードを複数有し、前記テーブルが走行する方向と非走行方向で独立に駆動でき、前記テーブルが走行する方向に駆動する第1ブレードの駆動機構が前記テーブルの可動体部に支持され、前記テーブルの非走行方向に駆動する第2ブレードの駆動機構が前記テーブルの可動体を支持している固定部から支持されていることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, H01L21/30 517
, H01L21/30 518
2H097AA02
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046BA05
, 5F046GA03
, 5F046GB07
, 5F046GB09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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