特許
J-GLOBAL ID：200903011966642456

感光性樹脂組成物

発明者：
名取 美智子

名取 美智子 について

, 
日高 敬浩

日高 敬浩 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025896
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215799
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 高解像度、高アスペクト比であるレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有し、前記(C)成分としてN,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノンを、前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.04〜0.08重量部含む感光性樹脂組成物とする。
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物および(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(C)成分としてN,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノンを、前記(A)成分および(B)成分の総量100重量部に対し0.04〜0.08重量部含む感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502
FI (4件)：
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502
Fターム (18件)：
2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BC83 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CC01 ,  2H025FA03
引用特許：
審査官引用 (9件)
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