特許
J-GLOBAL ID：200903013646615909

組み合わされたX線反射率計及び回折計

発明者：
ボリス ヨキーン

ボリス ヨキーン について

, 
アイザック マゾール

アイザック マゾール について

, 
ツァチ ラファエリ

ツァチ ラファエリ について


出願人/特許権者：
ジョーダン バリー アプライド レイディエイション リミティド

ジョーダン バリー アプライド レイディエイション リミティド について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  水谷 好男 ,  伊坪 公一 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-273641
公開番号（公開出願番号）：特開2006-091017
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 サンプルの迅速なXRR及びXRDに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってX線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したX線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したX線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも1つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したX線を検出器アレイが検知する第1の構造と、サンプルのBragg角の近傍において、表面から回折したX線を検出器アレイが検知する第2の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面層を具備するサンプルの分析用の装置であって、 X線の収束ビームを前記サンプルの表面に向かって案内するべく適合された放射源と、 前記サンプルから散乱した前記X線を仰角の一範囲にわたって、仰角の関数として同時に検知し、前記散乱したX線に応答して出力信号を生成するべく構成された少なくとも1つの検出器アレイであって、グレージング角で、前記サンプルの表面から反射したX線を前記検出器アレイが検知する第1の構造と、前記サンプルのBragg角の近傍において、前記表面から回折した前記X線を前記検出器アレイが検知する第2の構造と、を具備する少なくとも1つの検出器アレイと、 前記サンプルの前記表面層の特性を判定するために、前記第1及び第2の構造において生成された前記出力信号を受信して処理するべく接続された信号プロセッサと、 を含む分析装置。
IPC (4件)：
G01N 23/201 ,  G01B 15/02 ,  H01L 21/66 ,  G01B 15/08
FI (5件)：
G01N23/201 ,  G01B15/02 D ,  H01L21/66 P ,  H01L21/66 N ,  G01B15/08
Fターム (51件)：
2F067AA27 ,  2F067AA46 ,  2F067CC15 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK08 ,  2F067KK09 ,  2F067LL03 ,  2F067NN05 ,  2F067NN09 ,  2F067PP05 ,  2F067QQ01 ,  2F067RR00 ,  2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA15 ,  2G001BA18 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA02 ,  2G001EA09 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA15 ,  2G001KA01 ,  2G001KA10 ,  2G001KA11 ,  2G001KA12 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001PA01 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA29 ,  2G001SA04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106AA11 ,  4M106CA48 ,  4M106CB21 ,  4M106DH34
引用特許：
出願人引用 (16件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM