特許
J-GLOBAL ID：200903014465712470

電気光学サンプリングプローバ及び測定方法

発明者：
鳥山 典之

鳥山 典之 について

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八木 敏之

八木 敏之 について

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永妻 忠夫

永妻 忠夫 について


出願人/特許権者：
安藤電気株式会社

安藤電気株式会社 について

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日本電信電話株式会社

日本電信電話株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157150
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346882
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】測定対象のICウェハ上に複数設けられた受光部に対して同時に励起用の光を照射することができる電気光学サンプリングプローバを提供する。【解決手段】ICウエハに対する励起用の光を集光して照射する対物レンズを共有する複数の励起用光学系モジュールと、励起用光学系モジュールを脱着するための脱着部を備え、該励起用光学系モジュールから発せられた光の光路を覆う第2のプローバ本体とをICウエハの裏面側に設け、励起用光学系モジュールのうち少なくとも1つの励起用光学系モジュールは、他の励起用光学系モジュールとは異なる光軸を有し、ICウエハ上の異なる少なくとも2点の受光部に対して励起用の光が照射されることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
測定対象のICウエハ表面上の配線に接し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化する電気光学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオードを有し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学素子内を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光学素子の表面において反射された光を分離して電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールと、前記電気光学サンプリング光学系モジュールを脱着するための脱着部を備え、該電気光学サンプリング光学系モジュールから出射する光の光路を覆う第1のプローバ本体と、前記ICウエハに対する励起用の光を集光して照射するための励起用光学系モジュールと、前記励起用光学系モジュールを脱着するための脱着部を備え、該励起用光学系モジュールから発せられた光の光路を覆う第2のプローバ本体と、からなる電気光学サンプリングプローバにおいて、前記ICウエハに対する励起用の光を集光して照射する対物レンズを共有する複数の励起用光学系モジュールを設け、前記励起用光学系モジュールのうち少なくとも1つの励起用光学系モジュールは、他の励起用光学系モジュールとは異なる光軸を有し、前記ICウエハ上の異なる少なくとも2点の受光部に対して励起用の光が照射されることを特徴とする電気光学サンプリングプローバ。
引用特許：
出願人引用 (12件)
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