193NMリソグラフィーのためのヒドロキシ-アミノ熱硬化下塗り

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高木千嘉 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-604269
公開番号（公開出願番号）：特表2002-539473
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
要約：

【要約】本発明は熱硬化性ポリマー組成物、及びそれで被覆した光リソグラフィー基板に関し、前記組成物はヒドロキシル含有ポリマー、アミノ架橋剤及び熱酸発生剤からなる。熱硬化性ポリマー組成物は溶媒に溶解しそして深紫外光リソグラフィーにおける下塗り層として使用することができる。

請求項（抜粋）：

ヒドロキシル含有ポリマー、アミノ架橋剤及び熱酸発生剤からなる熱硬化性ポリマー組成物。ここで前記ヒドロキシル含有ポリマーはシクロヘキサノール、ヒドロキシスチレン、ヒドロキシアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシシクロアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシアルキルシクロアルキルアクリレート又はメタクリレート、アリールアルキルアルコール及びアリルアルコールからなる群より選ばれるモノマー単位からなる。

IPC (5件)：

G03F 7/11 503 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/11 503 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 573 , H01L 21/30 574

Fターム (25件)：

2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025DA40 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096CA05 , 2H096EA03 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA23 , 2H096KA06 , 2H096KA19 , 5F046NA05 , 5F046NA12 , 5F046NA15 , 5F046PA08

引用特許：

審査官引用 (11件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-131948 出願人：ジェイエスアール株式会社
ハレーション止め組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-328816 出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
ヒドロキシル官能性アクリル系付加重合体及びこれを含有する被覆剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-080548 出願人：インペリアル・ケミカル・インダストリーズ・ピーエルシー

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