特許
J-GLOBAL ID：200903032949921020
deepUVでの改良された熱硬化性抗反射コーティング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-514166
公開番号（公開出願番号）：特表2002-502982
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：
【要約】【課題】 deep UVでの改良された熱硬化性抗反射コーティングを提供する。【解決手段】 改良されたエッチ速度を有し、なかんずく、特定の高分子量ポリマーおよびコポリマー、特にグリシジルメタクリレートから製造した抗反射コーティング組成物。
請求項（抜粋）：
a.高分子量アクリルポリマーまたはコポリマーとdeep UV光吸収性のカルボン酸染料またはフェノール染料との反応生成物であって、前記カルボン酸染料またはフェノール染料が、カルボン酸染料の場合はヒドロキシエステル部分を介して、またはフェノール染料の場合はヒドロキシエーテル部分を介して結合した前記ポリマーまたはコポリマーを有し、前記部分は反応の間にその場で形成する反応生成物と、 b.メラミン、尿素、ベンジオグアナミン、グリコルリルおよびそれらの誘導体からなる群より選択されるアルキル化アミノプラスト架橋剤と、 c.硬化のためのプロトン酸触媒と、および d.少なくともアルコール20パーセントを含む低ないし中、即ち70°Cないし80°Cの沸点のアルコール含有溶媒系を含む改良された熱硬化性deep UV抗反射組成物であって、 早い硬化速度、高い光学密度、ホトレジスト間の高い差溶解度を有する安全な揮発性溶媒中での良好な溶解度および塗布性を保ちかつ改良された適合性および像被覆を有しつつ、改良されたプラズマエッチ速度を有する組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/11 503
, C08F220/32
G03F 7/11 503
, C08F220/32
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA06
, 2H025AA09
, 2H025AA16
, 2H025AA18
, 2H025AB16
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025DA34
, 2H025FA41
, 4J100AL03Q
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL09Q
, 4J100AL10P
, 4J100BA02H
, 4J100BA02P
, 4J100BA03H
, 4J100BA03P
, 4J100BA05P
, 4J100BA10H
, 4J100BA10P
, 4J100BB01P
, 4J100BB01Q
, 4J100BC44P
, 4J100BC48H
, 4J100BC48P
, 4J100BC49H
, 4J100BC49P
, 4J100BC65P
, 4J100BC69H
, 4J100BD15H
, 4J100BD15P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100CA31
, 4J100DA01
, 4J100HA11
, 4J100HA61
, 4J100HC09
, 4J100HC27
, 4J100JA01
