特許
J-GLOBAL ID：200903019251356732
活性成分及びそれを用いた感光性樹脂組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鍬田 充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370476
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287339
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高解像度のパターンを形成できる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 式(1)で表される活性金属アルコキシド又はその重縮合物、および式(2)で表される粒子から選択された活性成分を感光剤と組み合わせて感光性樹脂組成物を構成する。 (X)m-n-Mm-[(U1)p-(U2-Z)t]n (1) P-[(Y)s-{(U1)p-(U2-Z)t}]k (2)式中、Xは水素原子、ハロゲン原子、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基を示し、Mは価数mが2以上の金属原子を示し、U1は第1の連結ユニット、U2は第2の連結ユニットを示し、Zは光照射に起因して溶解度差を生じさせる基を示す。Pは微粒子担体を示し、Yはカップリング残基を示す。nは1以上の整数を示し、m>nであり、pは0又は1、tは1又は2、kは1以上の整数、sは0又は1である)
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物を構成する感光剤と組み合わせて用いるための活性成分であって、下記式(1) (X)m-n-Mm-[(U1)p-(U2-Z)t]n (1)(式中、Xは水素原子、ハロゲン原子、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基を示し、Mは価数mが2以上の金属原子を示し、U1は第1の連結ユニット、U2は第2の連結ユニットを示し、Zは光照射に起因して溶解度差を生じさせる基を示す。nは1以上の整数を示し、m>nであり、pは0又は1、tは1以上の整数を示す)で表される活性金属アルコキシド又はその重縮合物、および下記式(2) P-[(Y)s-{(U1)p-(U2-Z)t}]k (2)(式中、Pは微粒子担体を示し、Yはカップリング残基を示し、kは1以上の整数であり、sは0又は1である。U1、U2、Z、p及びtは前記に同じ)で表される粒子から選択された少なくとも一種で構成される活性成分。
IPC (4件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075
, H01L 21/027
G03F 7/004 501
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025CB29
, 2H025CB52
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
