調節された摩耗速度を有する窓部

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津国肇 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-566858
公開番号（公開出願番号）：特表2003-526938
出願日： 2001年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：

【要約】研磨パッドは、研磨層を含み、研磨層の透明窓部は、研磨操作中に窓部が摩耗除去される速度を増大させて研磨層における塊の形成を防止するために、分散粒子を有する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハを研磨するための研磨パッドであって、透明窓部を有する研磨層を含み、透明窓部が、研磨操作中に研磨に付されたとき固有の耐摩耗性を有する耐摩耗材料から構成されており、少なくとも1種又は2種以上の物質の分散粒子を窓部全体にわたり分散させることによって、研磨操作中に窓部が摩耗除去される速度を増大させて、研磨層における塊の形成を防止し、そして粒子が、研磨操作中に研磨に付されたとき摩耗しやすい不連続部を耐摩耗材料中に提供する、研磨パッド。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/00

FI (2件)：

H01L 21/304 622 F , B24B 37/00 C

Fターム (5件)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB06 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (10件)

研磨部材及び研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-251475 出願人：株式会社ニコン
研磨パッド
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-509557 出願人：ローデルインコーポレイテッド
可動窓付きウエハ研磨器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-063211 出願人：ラムリサーチコーポレイション

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