可撓膜を有するケミカルメカニカルポリシングシステム用キャリヤヘッド

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-501870
公開番号（公開出願番号）：特表2001-509440
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】ベースに結合されて第1チャンバ、第2チャンバ、および第3チャンバを画成する可撓部材を有するキャリヤヘッド。可撓部材の下面は、第1チャンバに関連する内側部分、その内側部分を囲むとともに第2チャンバに関連する実質的に環状の中間部分、およびその中間部分を囲むとともに、第3チャンバに関連する実質的に環状の外側部分を有する基板受け面を提供する。外側部分の幅は中間部分の幅よりも明らかに小さくてよい。キャリヤヘッドはまた、駆動軸に結合されたフランジと、そのフランジをベースにピボット式に結合するジンバルとを含んでもよい。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカルポリシングシステムで使用するキャリヤヘッドであって、ベースと、前記ベースに結合されて第1チャンバ、第2チャンバ及び第3チャンバを画成する可撓部材であって、その下面が、前記第1チャンバに関連する内側部分と、前記内側部分を囲むとともに前記第2チャンバに関連する実質的に環状の中間部分と、前記中間部分を囲むとともに前記第3チャンバに関連する実質的に環状の外側部分とを有する基板受け面を提供し、それによって前記可撓部材の前記内側、中間、または外側部分のいずれかに対する圧力を独立して制御できるようにした、前記可撓部材とを備えるキャリヤヘッド。

IPC (6件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00 , B24B 41/06 , B24B 47/10 , H01L 21/304 622 , H01L 21/304

FI (6件)：

B24B 37/04 E , B24B 37/00 B , B24B 41/06 L , B24B 47/10 , H01L 21/304 622 K , H01L 21/304 622 H

Fターム (12件)：

3C034AA13 , 3C034BB71 , 3C034BB73 , 3C034BB76 , 3C058AB04 , 3C058BA05 , 3C058BB04 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB10 , 3C058DA12 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (10件)

ウエハ貼り付け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-269578 出願人：住友金属鉱山株式会社
研磨機におけるワークの取外し方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-035197 出願人：江口敏益
ポリッシング装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-065315 出願人：株式会社荏原製作所

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