特許
J-GLOBAL ID：200903023788915018
フレキシブル基板製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195822
公開番号（公開出願番号）：特開2000-106482
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】フレキシブル基板に微細な金属バンプを精度よく形成できる技術を提供する。【解決手段】本発明のフレキシブル基板製造方法は、フォトリソグラフ工程によってパターニングしたマスクフィルム13を用いて金属バンプ16を成長させる。レーザ光を用いてポリイミドフィルムに開口部を形成していないので、微細な開口部を精度よく形成でき、その結果、微細な金属バンプ16を精度よく形成できる。金属バンプ16形成後は、マスクフィルム13を除去し、液状の樹脂原料を塗布し、乾燥して被膜を形成した後、硬化させて樹脂フィルムにする。被膜の段階で、表面部分をエッチングしておくと、金属バンプ16先端部分を露出させることができる。
請求項（抜粋）：
金属箔上に、露光、現像によりパターニングされたマスクフィルムを形成し、前記マスクフィルムの開口部底面に露出する前記金属箔上に金属バンプを成長させることを特徴とするフレキシブル基板製造方法。
IPC (2件)：
H05K 3/18
, H01L 21/60 311
H05K 3/18 D
, H01L 21/60 311 W
