特許
J-GLOBAL ID：200903026473932851
アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-227678
公開番号（公開出願番号）：特開2007-042984
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
【課題】 歪のない結晶からなり良好な変位を有する圧電体層を具備するアクチュエータ装置及び液滴を噴射するための駆動源としてアクチュエータ装置を具備する液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】 シリコン(Si)単結晶基板上に設けられた二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜50の上側に、下電極60と、該下電極60上に設けられた導電性の材料からなる面方位(100)のバッファ層65と、該バッファ層65上にエピタキシャル成長により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなる面方位(100)の圧電体層70と、該圧電体層70上に設けられた上電極80とからなる圧電素子300を有し、前記圧電体層70は前記バッファ層65との境界部分に設けられて組成を層ごとに段階的に変化させた複数層からなる階段状層72とこの階段状層72上に積層された圧電体層本体76とを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
シリコン(Si)単結晶基板上に設けられた二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜の上側に、下電極と、該下電極上に設けられた導電性の材料からなる面方位(100)のバッファ層と、該バッファ層上にエピタキシャル成長により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなる面方位(100)の圧電体層と、該圧電体層上に設けられた上電極とからなる圧電素子を有し、前記圧電体層は前記バッファ層との境界部分に設けられて組成を層ごとに段階的に変化させた複数層からなる階段状層とこの階段状層上に積層された圧電体層本体とを有することを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (8件)：
H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, B05C 5/00
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, B05C5/00 101
2C057AF55
, 2C057AG47
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA34
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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