特許
J-GLOBAL ID：200903030330174414

感放射線性樹脂組成物

発明者：
八子 由子

八子 由子 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-010240
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240422
出願日： 2004年01月19日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】 透明硬化樹脂パターン用途において高い平坦化性能や高い感度等を兼ね備え、透明硬化樹脂パターンの生産性の高い感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)が、γ-ブチロラクトンを全溶剤中に5〜60重量%の範囲で含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)が、γ-ブチロラクトンを全溶剤中に5〜60重量%の範囲で含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (6件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (22件)：
2H025AA01 ,  2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC52 ,  2H025BD22 ,  2H025BD23 ,  2H025BE01 ,  2H025CB43 ,  2H025CC03 ,  2H025FA01 ,  2H025FA12 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
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