特許
J-GLOBAL ID：200903030798897936

マイクロレンズアレイとその製法

発明者：
中嶋 敏博

中嶋 敏博 について


出願人/特許権者：
ヤマハ株式会社

ヤマハ株式会社 について


代理人 (1件)： 伊沢 敏昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-244730
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344610
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 光ファイバ間の光結合等に用いる好適な結合損失の少ないマイクロレンズアレイとその製法を提供する。【解決手段】 石英板等の透光板10の一方の主面にエッチングによりレンズアレイパターンを転写して平凸レンズL11〜L14を形成したマイクロレンズアレイにおいて、各レンズの直径を1mm以下にすると共に各レンズの突出高さSAGを50μm以上にする。このマイクロレンズアレイを光ファイバ間の光結合に用いると、0.3dB以下の結合損失が得られる。CF4等のフッ素系エッチングガスを用いてエッチングを行なうときは、エッチング面にフロン重合物に起因してピットが生ずる。フロン重合物をO2アッシングで除去すると、ピット発生を防止することができる。L11等の各レンズの上には、レンズ中央部から周縁部に進むにつれて厚さが漸減するようにSiO2等の透光被膜をスパッタ法等で形成してもよい。
請求項（抜粋）：
透光板と、この透光板の一方の主面にエッチングによりレンズアレイパターンを転写して形成された複数の平凸レンズとを備えたマイクロレンズアレイであって、各平凸レンズの直径を1mm以下に設定すると共に各平凸レンズの前記一方の主面からの突出高さを50μm以上に設定したことを特徴とするマイクロレンズアレイ。
IPC (2件)：
G02B 3/00 ,  G02B 6/32
FI (3件)：
G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 6/32
Fターム (4件)：
2H037AA01 ,  2H037BA32 ,  2H037CA11 ,  2H037DA05
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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