特許
J-GLOBAL ID：200903034148556838

過フッ素化多官能性アニオンを有する光酸発生剤

発明者：
ラマンナ,ウィリアム エム.

ラマンナ,ウィリアム エム. について


出願人/特許権者：
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー

スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  加藤 憲一 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-532863
公開番号（公開出願番号）：特表2007-507580
出願日： 2004年05月07日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
高い酸強度、低揮発性および低拡散率を有する光酸を提供する、光活性部分と過フッ素化多官能性アニオン部分(または初期アニオン部分)とを含む光酸発生剤(PAG)が開示される。本発明はさらに、マイクロリソグラフィのためのフォトレジストおよび光重合などの用途のための光開始または酸触媒方法において用いられるような光酸発生剤に関する。
請求項（抜粋）：
(a)有機オニウムカチオンと、 (b)式: -O3S-Rf-Z (式中、 Rfが、場合によりカテナリーのSまたはNを含有する、過フッ素化二価アルキレン部分、シクロアルキレン部分またはそれらの組合せであり、 Zが-SO3-または-CO2-である) のアニオンを含むイオン性光酸発生剤。
IPC (8件)：
C09K 3/00 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C07C 309/06 ,  C07C 381/12 ,  C07C 309/19 ,  C07C 309/17 ,  C07D 241/04
FI (8件)：
C09K3/00 K ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R ,  C07C309/06 ,  C07C381/12 ,  C07C309/19 ,  C07C309/17 ,  C07D241/04
Fターム (14件)：
2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA03 ,  4H006AB78 ,  4H006TN50
引用特許：
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM