特許
J-GLOBAL ID：200903034313958830

ペリクル、ペリクルを収納するペリクル収納容器ならびにペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 河野 尚孝 ,  荒井 鐘司 ,  嶋崎 英一郎 ,  石井 あき子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-303443
公開番号（公開出願番号）：特開2009-128635
出願日： 2007年11月22日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】 大型のペリクルにおいて、セパレータを使用せずにペリクルをペリクル収納容器に保管する。【解決手段】 ペリクルフレームのマスク粘着剤側端面の一部にマスク粘着剤の未塗布領域を設け、ペリクル収納容器の内部に設けられたシリコーンゲルなどからなるペリクルフレーム支持部上に該未塗布領域を載置し、さらに、ペリクルフレーム側面に設けられた孔に挿入されたピンとピンの保持機構によってペリクル収納容器にペリクルフレームを保持固定する。セパレータを使用せずとも粘着層を保護することができるため、セパレータが不要となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームの、マスクに粘着させるための粘着剤層が形成される面内の一部にマスク粘着剤の未塗布領域が形成され、該ペリクルフレームの側面には、ペリクルフレームの上下の端面がペリクル収納容器に接触することなく固定することができるピンを挿入することができる非貫通の孔が設けられていることを特徴とするペリクル。
IPC (1件)：
G03F 1/14
FI (2件)：
G03F1/14 J ,  G03F1/14 M
Fターム (4件)：
2H095BC34 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39 ,  2H095BE12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (8件)
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