発振子、発振子の製造方法、及び発振器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-219629
公開番号（公開出願番号）：特開2009-055294
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】温度特性の補正が効率的に行われる発振子、発振子の製造方法及び発振器を提供する。【解決手段】所定の間隔をあけて配置された少なくとも2つ以上のアンカーと、該アンカーに接続されて揺動自在に保持された振動部と、該振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された駆動電極と、前記振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された検出電極と、前記アンカーに接続され、前記振動部を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい材料からなる温度特性補正基板とを備えたことを特徴とする発振子とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

所定の間隔をあけて配置された少なくとも2つ以上のアンカーと、該アンカーに接続されて揺動自在に保持された振動部と、該振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された駆動電極と、前記振動部と所定の間隔をあけて対向するように配置された検出電極と、前記アンカーに接続され、前記振動部を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい材料からなる温度特性補正基板とを備えたことを特徴とする発振子。

IPC (3件)：

H03B 5/30 , H03H 9/24 , H03H 3/007

FI (3件)：

H03B5/30 , H03H9/24 Z , H03H3/007 Z

Fターム (14件)：

5J079AA01 , 5J079BA02 , 5J079BA39 , 5J079CA00 , 5J079HA04 , 5J079HA22 , 5J079HA30 , 5J108AA03 , 5J108BB08 , 5J108CC01 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

高周波発振回路、高周波発振回路の温度補償方法、及び無線通信機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-178525 出願人：富士電機ホールディングス株式会社

審査官引用 (10件)

電気機械信号選択素子、その製造方法およびそれを用いた電気機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-180879 出願人：松下電器産業株式会社
マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-209850 出願人：シャープ株式会社
振動マイクロメカニカル素子列を利用して少なくとも1つの所望の出力周波数を有する信号を生成するための方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-579439 出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブミシガン

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