特許
J-GLOBAL ID：200903036342236634
微小電気機械式装置の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-215373
公開番号（公開出願番号）：特開2007-069341
出願日： 2006年08月08日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】絶縁表面上に形成される薄膜を用い、カンチレバー型を代表とする立体構造を簡便に形成する方法、及び当該方法により微小電気機械式装置を作製する方法を提供する。【解決手段】膜厚の異なるマスクを通してエッチングすると、マスクが薄い部分が先に浸食され膜厚に対応した形状の立体構造を得ることができる。カンチレバーを例にすれば、絶縁基板100上に犠牲層101、カンチレバーとなる構造層102を設ける。さらにその上に膜厚の異なるマスク103を設ける。その後エッチングするとマスクの薄い部分が先に浸食されマスク厚に対応した形状を有する構造層ができる。最後に犠牲層を除去すれば部分的に厚みが異なるカンチレバーとなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
犠牲層を形成し、
前記犠牲層上に第1の層を形成し、
前記第1の層上に第1の膜厚及び第2の膜厚を有するマスクを形成し、
前記マスクを用いて、前記第1の層をエッチングし、構造層を形成し、
前記構造層下方に設けられた前記犠牲層を除去し、
前記構造層は、前記第2の膜厚のマスク下に設けられていた部分の厚みが、前記第1の膜厚のマスク下に設けられていた部分の厚みより薄いことを特徴とする微小電気機械式装置の作製方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
審査官引用 (10件)
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