特許
J-GLOBAL ID：200903036505837592

基板収納容器

発明者：
長谷川 晃裕

長谷川 晃裕 について

, 
三村 博

三村 博 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-174035
公開番号（公開出願番号）：特開2005-353898
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】 標準化された蓋体開閉装置を使用でき、強い衝撃が作用しても基板が損傷するのを抑制し、パーティクルの発生や基板の位置ずれを防止し、シールガスケットが位置ずれ等するのを防止できる基板収納容器を提供する。【解決手段】 シリコンウェーハWを収納する容器本体1を開閉する蓋体20と、蓋体20に装着されてシリコンウェーハWの前部周縁を保持するフロントリテーナ40と、容器本体1と蓋体20間に介在されるシールガスケット60とを備え、フロントリテーナ40を、蓋体20に装着される支持枠体41に支持される複数の弾性片44と、各弾性片44に形成されてシリコンウェーハWの前部周縁を保持する誘導ブロック47・被誘導ブロック52とから構成する。各弾性片44当たりの基板保持力をy(N)、シリコンウェーハW一枚当たりの重量をw(kg)とした場合に、10.8×w<y<34.3×wの関係式を満たすようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口内に嵌め合わされる着脱自在の蓋体と、これら容器本体と蓋体のうち、少なくとも蓋体に取り付けられて複数枚の基板の周縁部を保持可能なリテーナと、容器本体と蓋体の間に介在される弾性変形可能なシールガスケットとを含んでなる基板収納容器であって、 リテーナを、蓋体の内面に取り付けられる支持体と、この支持体に変形可能に形成される複数の弾性片と、各弾性片に形成されて基板の周縁を保持するブロックとから構成し、各弾性片当たりの基板保持力をy(N)、基板一枚当たりの重量をw(kg)とした場合に、 10.8×w<y<34.3×wの関係式を満たすようにしたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65D85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (31件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA04X ,  3E096EA04Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA22 ,  3E096GA03 ,  3E096GA07 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031EA18 ,  5F031KA20 ,  5F031PA18 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 精密基板収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-414072   出願人：信越ポリマー株式会社
  • 精密基板収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-366763   出願人：信越ポリマー株式会社
審査官引用 (9件)
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