特許
J-GLOBAL ID：200903041110092583
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-089606
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263769
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】高感度化および応答速度の高速化を図れ、且つ、支持部の応力に起因した支持部の変形を防止できる赤外線センサを提供する。【解決手段】ベース基板1と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3がベース基板1の一表面から離間して配置されるように温度検知部3を支持して温度検知部3とベース基板1とを熱絶縁する断熱部4とを備える。断熱部4は、ベース基板1の上記一表面から離間して配置されベース基板1側とは反対側に温度検知部3が形成される支持部41と、支持部41とベース基板1とを連結した脚部42,42とを有する。また、断熱部4は、支持部41および脚部42,42が多孔質材料により形成されており、支持部41に当該支持部41の応力を緩和する応力緩和層41b,41cが支持部41を挟む形で積層されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、温度検知部がベース基板の一表面から離間して配置されるように温度検知部を支持して温度検知部とベース基板とを熱絶縁する断熱部とを備え、断熱部は、ベース基板の前記一表面から離間して配置されベース基板側とは反対側に温度検知部が形成される支持部と、多孔質材料により形成されてなり支持部とベース基板とを連結した脚部とを有し、支持部に当該支持部の応力を緩和する少なくとも1層の応力緩和層が積層されてなることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 27/14
, H01L 37/00
G01J1/02 C
, G01J5/02 J
, G01J1/02 Q
, H01L27/14 K
, H01L37/00
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BA34
, 2G066BA09
, 2G066BA55
, 2G066BB09
, 2G066CA02
, 4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118CA01
, 4M118CA16
, 4M118CA35
, 4M118CB05
, 4M118CB06
, 4M118CB12
, 4M118CB13
, 4M118CB14
, 4M118EA01
, 4M118EA04
, 4M118GA08
, 4M118GA10
, 4M118GD14
出願人引用 (1件)
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センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-270435
出願人：松下電工株式会社
審査官引用 (9件)
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