微細導体を有するパターン化デバイスを検査するシステム及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：北澤一浩 , 小泉伸 , 市川朗子 , 松下ひろ美 , 立石博臣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-014808
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199066
出願日： 2007年01月25日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】パターン化デバイスの欠陥のタイプを簡便に分類し、欠陥の原因分析による歩留まり向上が可能な微細導体を有するパターン化デバイスを検査するシステム及び方法を提供する。【解決手段】パターン化デバイスの検査システムは、パターン化基板上の欠陥候補の位置を観察し、その位置の少なくとも1つの画像を取得するカメラを有する。当該カメラは光軸を規定し、取得される画像は、少なくとも、光軸からずれ、パターン化基板の平面に対応する平面において互いに非平行な第1の照明軸及び第2の照明軸に沿って供給される照明により照明される。その互いに非平行に供給される照明に対する応答は、互いに区別可能である。また、少なくとも1つの画像を受け取り、切削による欠陥候補若しくは余分な材料による欠陥候補を互いに、且つ/又は他のタイプの欠陥候補と区別するように動作する欠陥分類器とを備える。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

微細導体を有するパターン化デバイスを検査するように動作する検査システムであって、平面を規定するパターン化基板上の欠陥候補の位置を観察し、そこで該位置の少なくとも1つの画像を取得するカメラであり、該カメラは光軸を規定し、前記少なくとも1つの画像は、該光軸からずれた少なくとも1つの光源からの照明により照明され、該照明は少なくとも、前記平面に相当する平面において互いに非平行な第1の照明経路及び第2の照明経路に沿って供給され、このとき、該第1の照明経路に沿って供給される照明に対する応答が、該第2の照明経路に沿って供給される照明に対する応答と区別可能であるカメラと、前記少なくとも1つの画像を受け取り、前記画像において、前記パターン化基板に対して異質の粒子によって生じた欠陥候補を他のタイプの欠陥候補と区別するように動作する欠陥分類器とを有することを特徴とする微細導体を有するパターン化デバイスを検査するように動作する検査システム。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , G06T 1/00

FI (4件)：

G01N21/956 Z , G01B11/24 K , G01B11/24 F , G06T1/00 305A

Fターム (47件)：

2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065AA61 , 2F065BB02 , 2F065CC17 , 2F065CC25 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065GG23 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065HH16 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065MM02 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2G051AA61 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB11 , 2G051BA02 , 2G051BA08 , 2G051BB05 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051EC01 , 2G086EE10 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057CH18 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DC25 , 5B057DC40

引用特許：

出願人引用 (13件)

米国特許第6、947、151号
特許第2914967号
半導体装置の回路パタン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-018308 出願人：山形日本電気株式会社

全件表示

審査官引用 (16件)

特許第2914967号
欠陥検査装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-206078 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特許第2914967号

全件表示

前のページに戻る