特許
J-GLOBAL ID：200903042789734763

露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

発明者：
長坂 博之

長坂 博之 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297343
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140459
出願日： 2005年10月12日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】 投影光学系と液体とを介して露光光を像面側まで良好に到達させることができる露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置EXは、露光光ELの光路空間を液体LQで満たし、投影光学系PLと液体LQとを介して基板P上に露光光ELを照射して、基板Pを露光する。投影光学系PLの第1光学素子LS1は、液体LQに接する凹面部2を有している。露光装置EXは、凹面部2の内側の異物を除去する除去装置40を備えている。投影光学系と液体とを介して露光光を像面側まで良好に到達させて、液浸露光を実現する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体を介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、 複数の光学素子を含み、その複数の光学素子の少なくとも一部が、前記液体に接する凹面部を有する投影光学系と、 前記凹面部の内側の異物を除去する除去装置とを備えた露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 503G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D
Fターム (6件)：
5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 国際公開第99/49504号パンフレット
審査官引用 (12件)
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