中空ワークの内面加工方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松田忠秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-397582
公開番号（公開出願番号）：特開2005-158601
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】ワークWの内面を均一に加工処理する。【解決手段】ワークWを真空槽11内に保持し、真空槽11に導入する原料ガスを間欠的に電離させてプラズマを生成し、ワークW内にプラズマを存在させながら、ワークW内の電極14とワークWとの間にバイアス電圧Vを印加する。バイアス電圧Vは、プラズマ中のイオンをワークWの内面に向けて加速する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中空ワークの内面を加工処理するに際し、ワークを真空槽内に保持し、真空槽に導入する原料ガスを間欠的に電離させてプラズマを生成し、ワーク内にプラズマを存在させながら、ワーク内に配設する電極とワークとの間にバイアス電圧を印加することを特徴とする中空ワークの内面加工方法。

IPC (4件)：

H05H1/46 , C23C16/509 , C23C16/515 , C23F4/00

FI (4件)：

H05H1/46 M , C23C16/509 , C23C16/515 , C23F4/00 A

Fターム (17件)：

4K030AA02 , 4K030AA11 , 4K030CA15 , 4K030FA03 , 4K030JA11 , 4K030KA18 , 4K030KA20 , 4K057DA01 , 4K057DA16 , 4K057DB02 , 4K057DD01 , 4K057DG06 , 4K057DG15 , 4K057DM06 , 4K057DM19 , 4K057DM37 , 4K057DN10

引用特許：

出願人引用 (1件)

物体の加工処理方法と、その装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-091749 出願人：学校法人金沢工業大学

審査官引用 (10件)

プラズマ処理装置及び炭素被覆形成プラスチック容器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-380638 出願人：三菱重工業株式会社
プラズマ処理装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087615 出願人：東京エレクトロン株式会社, 後藤俊夫, 東京エレクトロン山梨株式会社
プラズマ生成用の螺旋共振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-343850 出願人：エム・シー・エレクトロニクス株式会社

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