特許
J-GLOBAL ID：200903047153221113

材料搬送システム

発明者：
ホフマイスター クリストファー

ホフマイスター クリストファー について

, 
シンドレデッカー グレン エル.

シンドレデッカー グレン エル. について


出願人/特許権者：
ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

ブルックス オートメーション インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-501770
公開番号（公開出願番号）：特表2003-536247
出願日： 2001年05月03日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：
【要約】可動蓋(48)を有するフレーム(38)に関して半導体ウェハーを内包するカセット(32)を搬入及び搬出するシステム。このシステムは、回転運動可能なプラットフォーム(36)または上下運動可能なプラットフォーム(36A)を含み、このプラットフォームは、カセットを装填開口部に入れる、または開口部から出すべく動く。
請求項（抜粋）：
複数の半導体ウェハーを支持するカセットを搬入及び搬出するシステムであって、 装填開口部を有するフレームと、 前記フレームに設けられて展開位置と収納位置との間で移動自在であり、前記展開位置において、前記装填開口部に近接してほぼ水平姿勢を取るとともに、前記カセットを受理すべく前記フレームから突出するプラットフォームと、 前記装填開口部を通る水平方向経路を開閉する前記装填開口部用の可動蓋と、を含むことを特徴とするシステム。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  B65G 49/07 L
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA10
引用特許：
審査官引用 (13件)
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