端部検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺隆男 , 大澤圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-129895
公開番号（公開出願番号）：特開2007-303854
出願日： 2006年05月09日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。【解決手段】平板形状の被検物体1の端部に対して、前記被検物体の表面あるいは裏面の上方あるいは下方以外の位置から拡散光を照射する照明手段5と、前記端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段4と、前記撮像手段により得られた像により、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段7とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平板形状の被検物体の端部に対して、前記被検物体の表面あるいは裏面の上方あるいは下方以外の位置から拡散光を照射する照明手段と、前記端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られた像により、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段とを備えたことを特徴とする端部検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/956 A , G01B11/30 Z

Fターム (42件)：

2F065AA49 , 2F065AA60 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065CC25 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065FF61 , 2F065HH02 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065HH15 , 2F065HH17 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL49 , 2F065LL59 , 2F065MM02 , 2F065MM04 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065RR08 , 2F065SS04 , 2F065UU01 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB08 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051BB01 , 2G051BB05 , 2G051CA04 , 2G051CA06 , 2G051DA08 , 2G051EA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

端部傷検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-156114 出願人：住友大阪セメント株式会社, 株式会社レイテックス, 住友金属工業株式会社

審査官引用 (8件)

ウエハ検査方法及びシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-176744 出願人：ライカマイクロシステムスセミコンダクタゲーエムベーハー
顕微鏡および薄板エッジ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-246929 出願人：オリンパス株式会社
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-042241 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

全件表示

前のページに戻る