外観検査装置用画像処理装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小川勝男 , 田中恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367336
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134976
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】複数のプロセッサエレメントを用い並列処理を行うマルチプロセッサ方式の画像処理装置にて、リアルタイム処理に適した構成と双方向検査における折り返し時間の短縮により高速な外観検査用画像処理装置を提供できる。【解決手段】連続画像データを用いた外観検査装置において、機能別にグループ分けした複数のプロセッサエレメントからなる複数のマルチプロセッサユニットと、複数チップ分の画像を記憶し各マルチプロセッサユニット毎に所要の連続或いは切り出し画像を供給する機能を有するメモリと、各プロセッサ毎に画像を分配する手段と、マルチプロセッサユニットで処理した結果を集計する手段を有し、位置合わせと比較処理、特徴抽出処理の2つのマルチプロセッサユニット構成とすることでリアルタイム処理による高速な画像処理が出来る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のチップが形成されている半導体ウエハを検査光線等で走査して各チップの画像データを順次取得する画像データ取得手段と、取得された前記画像データを他の対応する部分の画像データとを位置補正や比較をして欠陥情報を検出する欠陥情報検出手段と、前記欠陥情報をもとに該当欠陥部分の特徴抽出を行う欠陥特徴抽出手段とを有する外観検査装置用画像処理装置にあって、前記画像データ取得手段で順次取得される前記画像データを記憶する画像データメモリを設け、前記画像データを読み込んで前記欠陥特徴抽出手段の欠陥情報検出処理ないし前記欠陥特徴抽出手段の欠陥特徴抽出処理を行う複数のマルチプロセッサユニットを設け、前記マルチプロセッサユニットは、欠陥情報検出処理ないし欠陥特徴抽出処理のプログラムが記憶される内部メモリとCPUとをセットにした複数のプロセッサエレメントと、前記画像データを各プロセッサエレメントに分配する分配部とを有することを特徴とする外観検査装置用画像処理装置。

IPC (2件)：

G06T1/00 , G06T1/20

FI (2件)：

G06T1/00 305A , G06T1/20 B

Fターム (9件)：

5B057AA03 , 5B057CA12 , 5B057CB12 , 5B057CH02 , 5B057CH11 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

外観検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-341810 出願人：株式会社東京精密

審査官引用 (18件)

微細欠陥検査装置およびその方法並びに位置ずれ算出回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-171185 出願人：株式会社日立製作所
特開昭64-084383
観察作業支援システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-191519 出願人：株式会社日立製作所

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