特許
J-GLOBAL ID:200903048856358184
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松浦 兼行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-370199
公開番号(公開出願番号):特開2006-210892
出願日: 2005年12月22日
公開日(公表日): 2006年08月10日
要約:
【課題】従来は最上部のLSIチップの上面以外にヒートシンクを取り付けることができないため、半導体装置全体として効率的な放熱ができず、また、最上部以外の下部のLSIチップの発熱による熱も効率良く放熱できない。【解決手段】複数のLSIチップ2が中継基板1上に積層された積層構造の半導体装置において、上下に隣接するLSIチップ2との間又は最下部のLSIチップの下面と基板1との間に熱伝導性アンダーフィル樹脂10が設けられている。LSIチップ2の発熱は、最上部のLSIチップ2の表面及びLSIチップ2の各側面と熱伝導性アンダーフィル樹脂10の側面にそれぞれ接触し、かつ、被覆する放熱シート9を介して、放熱シート9のLSIチップ2と反対側表面が内面に接触され、かつ、積層構造の全体を覆うヒートシンク8に到達し、これより外部雰囲気中に放熱される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数のLSIチップが基板上に積層された積層構造の半導体装置において、
上下に隣接する前記LSIチップとの間又は最下部の前記LSIチップの下面と前記基板との間に設けられた熱伝導性部材と、
前記複数のLSIチップのうち、最上部のLSIチップの表面及び前記複数のLSIチップの各側面と前記熱伝導性部材の側面にそれぞれ接触し、かつ、被覆する放熱シートと、
前記放熱シートの前記LSIチップ側面の反対側表面が内面に接触され、かつ、前記積層構造の全体を覆うヒートシンクと
を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (4件):
H01L 25/18
, H01L 25/07
, H01L 25/065
, H01L 23/36
FI (2件):
H01L25/08 Z
, H01L23/36 D
Fターム (3件):
5F136BC05
, 5F136BC07
, 5F136DA01
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (9件)
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冷却器付半導体集積回路装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-354115
出願人:株式会社ケミトロニクス
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水蒸発式冷却装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-203369
出願人:三菱電機株式会社
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半導体装置及び半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-272310
出願人:NECエレクトロニクス株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-056354
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-162282
出願人:株式会社日立製作所
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回路基板の放熱構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-088281
出願人:ミノルタ株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-386539
出願人:ソニー株式会社
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半導体装置および半導体実装方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-371452
出願人:三菱電機株式会社
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積層型の半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-372538
出願人:株式会社東芝
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