特許
J-GLOBAL ID：200903048937720384
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-282621
公開番号（公開出願番号）：特開2005-046891
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 従来のレーザ加工装置では、非常に高精度の加工を行う場合、X軸、Y軸を同時に移動させて補間処理を行う場合に、補間分解能や各軸が持つ送り誤差により、加工誤差が生じていた。 【解決手段】 そこで、検出手段10、11からの信号により、被加工物13を回転させて加工位置の配置とX軸方向又はY軸方向を一致させ、この一致させた方向にレーザ光を相対移動させるように駆動手段6、7、8を制御する制御手段14を設けた構成により、要求される非常に高品位、高精度の位置決め加工を実現する手段を提供することが可能になる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工物を載置するテーブルと、パルス状のレーザ光を出力するレーザ発振器と、前記レーザ光を前記被加工物に導く光学手段を備え、直交座標系におけるX軸方向とY軸方向と回転方向に前記テーブルを駆動する駆動手段と、被加工物の位置を検出する検出手段と、前記検出手段からの信号により、被加工物を回転させて加工位置の配置と前記X軸方向又はY軸方向を一致させて前記一致させた方向にレーザ光を相対移動させるように前記駆動手段を制御する制御手段を設けたレーザ加工装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B23K26/08 D
, B23K26/06 E
, H01L21/78 B
4E068AD01
, 4E068CA03
, 4E068CA04
, 4E068CA15
, 4E068CB03
, 4E068CC06
, 4E068CD03
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CD10
, 4E068CE05
, 4E068DA10
出願人引用 (1件)
審査官引用 (13件)
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レーザ加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-225059
出願人：株式会社ニコン
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レーザ加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-046458
出願人：株式会社田中製作所
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ダイシング方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-147011
出願人：株式会社ディスコ
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