特許
J-GLOBAL ID：200903049756449081

カラーフィルター又は液晶用構造材の現像方法

発明者：
田中 光利

田中 光利 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-012821
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215813
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 大型の基板に対しても残渣が少なく現像ムラのないカラーフィルターまたは液晶用構造材の現像方法を提供する。【解決手段】基板上に感光性樹脂組成物層を形成する工程、パターン露光する工程、現像により不要部分を除去する工程を含むカラーフィルターまたは液晶用構造材の製造に用いられる現像法であって、前記基板に現像液、リンス液及び洗浄液の少なくとも1つの処理液を供給する少なくとも1つの処理液供給手段を含み、該処理液供給手段が一端に前記処理液を導入するための導入口12を有する導入通路14と、他端に前記基板に向けて開口する導入開口部18を備え、該導入開口部18に多数の貫通孔を有する処理液供給部材20が設けられているカラーフィルター又は液晶用構造材の現像方法。
請求項（抜粋）：
基板上に感光性樹脂組成物層を形成する工程、パターン露光する工程、現像により不要部分を除去する工程を含むカラーフィルターまたは液晶用構造材の製造に用いられる現像法であって、前記基板に現像液、リンス液及び洗浄液の少なくとも1つの処理液を供給する少なくとも1つの処理液供給手段を含み、該処理液供給手段が一端に前記処理液を導入するための導入口を有する導入通路と、他端に前記基板に向けて開口する導入開口部を備え、該導入開口部に多数の貫通孔を有する処理液供給部材が設けられていることを特徴とするカラーフィルター又は液晶用構造材の現像方法。
IPC (4件)：
G03F 7/30 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/30 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  H01L 21/30 569 D
Fターム (15件)：
2H048BA43 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BA60 ,  2H091FA02 ,  2H091FC10 ,  2H091FC24 ,  2H091LA12 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096GA02 ,  2H096GA17 ,  2H096GA21 ,  5F046LA11 ,  5F046LA19
引用特許：
審査官引用 (16件)
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