赤外線センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-153012
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316076
出願日： 2007年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：

【課題】高感度化および応答速度の高速化を図れる赤外線センサを提供する。【解決手段】矩形板状のベース基板1と、ベース基板1の一表面側(図1(a)の上面側)に配置され赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3がベース基板1の上記一表面から離間して配置されるように温度検知部3を支持して温度検知部3とベース基板1とを熱絶縁する断熱部4とを有するセンサ本体10を備え、断熱部4が、多孔質材料である多孔質の酸化シリコンにより形成されている。また、ベース基板1の上記一表面側において温度検知部3、断熱部4などが収納された気密空間15をベース基板1との間に形成した封止部材20を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベース基板と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、温度検知部がベース基板の一表面から離間して配置されるように温度検知部を支持して温度検知部とベース基板とを熱絶縁する断熱部とを備え、断熱部が多孔質材料により形成され、少なくとも温度検知部および断熱部が収納された気密空間を形成した封止部材を有することを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 1/04 , G02B 3/00

FI (4件)：

G01J1/02 C , G01J1/02 Q , G01J1/04 A , G02B3/00

Fターム (7件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065BA37 , 2G065BB06 , 2G065CA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-270435 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (11件)

赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-083020 出願人：オムロン株式会社
赤外線撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-293256 出願人：日本電気株式会社
熱型赤外線固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-049948 出願人：日本電気株式会社

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