特許
J-GLOBAL ID：200903051491087900
光学エレメントを組み立てる部品のキット、光学エレメントを組み立てる方法、光学エレメント、リソグラフィ装置、およびデバイス製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 吉田 裕
, 岩本 行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-151729
公開番号（公開出願番号）：特開2004-088075
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】所望の照明モードを提供するため、迅速かつ安価に組み立てることができる光学エレメントを提供する。【解決手段】リソグラフィ装置に使用する光学エレメントを組み立てる部品のキットは、光を放射システムの瞳面にある個々の領域に配向したり、入射放射線の偏光状態を変更したりする多数の異なる小さい部品を備える。以前に製造した部片を選択し、光学エレメントに組み込んで、所望の強度分布を迅速に生成する。光学エレメントは、分解して、部片を再使用することができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置の放射システムの面において入射放射線の所望の変更を実行する光学エレメントを組み立てる部品のキットで、
-以前に製造され、それぞれが入射放射線に影響を及ぼす複数の光学コンポーネントを備え、前記光学コンポーネントのうち少なくとも一部の前記影響が、他の前記光学コンポーネントの前記影響とは異なり、さらに、
-前記複数の光学コンポーネントのユーザが選択可能なサブセットをアレイ内に保持する支持部とを備える部品のキット。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G02B7/00
, G02B19/00
, G03F7/20
H01L21/30 515D
, G02B7/00 F
, G02B19/00
, G03F7/20 521
, H01L21/30 503
2H043AE09
, 2H043AE23
, 2H052BA02
, 2H052BA08
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F046CB01
, 5F046CB23
, 5F046CB24
, 5F046GA03
