特許
J-GLOBAL ID：200903051792860825

集積回路の動的診断テスティング装置および方法

発明者：
ネイダー パクダマン

ネイダー パクダマン について

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スティーブン カサピ

スティーブン カサピ について

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イジック ゴールドバーガー

イジック ゴールドバーガー について


出願人/特許権者：
オプトニクス・インコーポレーテッド

オプトニクス・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566568
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517188
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
本発明の原理に従うシステムおよび方法によって、集積回路内の様々な種類の電気作用をコンタクトレスに測定することが可能になる。本発明は、デバイス・プロセシングの種々の段階中のウェハ上の種々のデバイス、または製造サイクルの終わりにおけるパッケージ部品上の種々のデバイスについての高帯域幅のアット・スピード・テスティングに対して、用いることができる。テスト回路への電力の印加を、従来の機械的プローブまたは他の手段を用いて、たとえばCWレーザ光をテスト回路上に設けた受光器に印加して行なう。テスト回路内への電気テスト信号の導入を、コンタクトレスな方法を用いて回路を刺激することによって、たとえば1つまたは複数のモードロック・レーザの出力を回路上の高速受取器上に送ることによって、または高速のパルス・ダイオード・レーザを用いることによって行なう。テスト信号に応答する回路内の電気作用の検知を、受取器要素、たとえば時間分解フォトン・カウンティング検出器、静的放出カメラ・システムによって、またはアクティブ・レーザ・プロービング・システムによって行なう。収集された情報は、種々の目的のために用いられる。たとえば、製造プロセス・モニタリング、新しいプロセスの認定、およびモデル検定である。
請求項（抜粋）：
集積回路の電気特性の測定方法であって、 刺激エネルギー源を用いて前記集積回路の所定の領域を刺激することによって、前記集積回路内へテスト信号を注入するステップと、 検出器を用いて、前記注入されたテスト信号に応答する前記集積回路内の電気作用を検出するステップと、 前記検出された電気作用に基づいて前記集積回路の前記特性を決定するステップと、を含む方法。
IPC (3件)：
G01R31/302 ,  G01R1/06 ,  H01L21/66
FI (3件)：
G01R31/28 L ,  G01R1/06 F ,  H01L21/66 B
Fターム (31件)：
2G011AA01 ,  2G011AA17 ,  2G011AC06 ,  2G011AE03 ,  2G132AA01 ,  2G132AB01 ,  2G132AC03 ,  2G132AD01 ,  2G132AE04 ,  2G132AE14 ,  2G132AE16 ,  2G132AF01 ,  2G132AF06 ,  2G132AF12 ,  2G132AF13 ,  2G132AF14 ,  2G132AG01 ,  2G132AG08 ,  2G132AH07 ,  2G132AL04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA05 ,  4M106BA11 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD05 ,  4M106DD15 ,  4M106DH12
引用特許：
審査官引用 (15件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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