画像露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-069975
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255664
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】二次元空間変調素子を用いた感光材料の露光において、光の利用効率が高く、しかも、光量均一性に優れた画像露光方法を提供する。【解決手段】二次元空間変調素子の1つの画素列方向に、感光材料と二次元空間変調素子とを相対的に走査すると共に、この走査に同期して二次元空間変調素子による画像も前記走査方向に走査することにより、感光材料を多重露光し、かつ走査方向の画素列による最大露光量が、各画素列で等しくなるように、少なくとも1つの画素列は、記録画像によらず、一部の画素による露光を常時停止することにより、前記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

感光材料の分光感度に応じた光源から射出され、二次元空間変調素子によって変調された光によって感光材料を露光するに際し、前記二次元空間変調素子の1つの画素列方向に、前記感光材料と二次元空間変調素子とを相対的に走査すると共に、この走査に同期して前記二次元空間変調素子による画像も前記走査方向に走査することにより、前記感光材料を多重露光し、かつ、前記走査方向の画素列による最大露光量が各画素列で等しくなるように、少なくとも1つの前記画素列は、記録画像によらず、一部の画素による露光を常時停止することを特徴とする画像露光方法。

IPC (5件)：

G03F 7/20 511 , B41C 1/10 , B41J 2/445 , G02B 26/08 , G03F 7/24

FI (5件)：

G03F 7/20 511 , B41C 1/10 , G02B 26/08 E , G03F 7/24 G , B41J 3/21 V

Fターム (22件)：

2C162AE23 , 2C162AE28 , 2C162AF23 , 2C162FA09 , 2C162FA10 , 2C162FA49 , 2C162FA50 , 2C162FA62 , 2H041AA05 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ05 , 2H084AA30 , 2H084AE05 , 2H084AE06 , 2H084CC05 , 2H097AA11 , 2H097AA16 , 2H097BA10 , 2H097BB01 , 2H097CA12 , 2H097LA01

引用特許：

審査官引用 (19件)

露光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-063265 出願人：富士写真フイルム株式会社
リソグラフィ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-314739 出願人：株式会社日立製作所
画像記録方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-321584 出願人：富士写真フイルム株式会社

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