特許
J-GLOBAL ID:200903057433623301
集積センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 竹内 茂雄
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-568309
公開番号(公開出願番号):特表2006-514283
出願日: 2003年10月20日
公開日(公表日): 2006年04月27日
要約:
集積センサ(10)は、シリコン基板(14)上に配置された、又はそれに集積されて配置された、デバイスに電気的に接続された磁気抵抗素子(12)を含む。導体(26)は、磁気抵抗素子の近傍に備えられる。集積センサ電流センサ、磁場センサ又はアイソレータのような、種々のデバイスを提供するために用いられてもよい。さらに集積センサは、開ループ構成、又は追加の導体が備えられた閉ループ構成で用いられてもよい。磁気抵抗素子は、シリコン基板上でも、又は別個のシリコンでない基板上に形成されてもよい。また基板、基板の表面上に配置された磁場変換器、磁場変換器の近傍の基板の表面上に配置された導体からなる、集積センサが記述される。磁場変換器は、ホール効果変換器又は磁気抵抗素子であってよい。
請求項(抜粋):
少なくとも1つのデバイスを支持するシリコン基板と、
前記シリコン基板上に配置された導体と、
前記導体上に配置され、前記少なくとも1つのデバイスと電気的に結合された磁気抵抗素子とを含む電子回路。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R15/02 B
, H01L43/08 Z
Fターム (3件):
2G025AA05
, 2G025AB01
, 2G025AC04
引用特許:
審査官引用 (18件)
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電流検出装置あるいは電流検出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-273717
出願人:株式会社日立製作所
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特開平2-238372
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特開平2-238372
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微小電流センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-192436
出願人:株式会社村田製作所
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電流センサーの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-049510
出願人:リエゾンエレクトロニク-メカニクエルウエムソシエテアノニム
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センサチップ及びセンサを用いて電流を測定する装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-267456
出願人:ルストアントリープステヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
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センサチップ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-001434
出願人:ルストエレクトロニク-ジステーメゲゼルシャフトミットベシュレンクターハフツンク
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電流センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-065429
出願人:矢崎総業株式会社
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特開平2-238372
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電流センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-132498
出願人:矢崎総業株式会社
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ホイートストンブリッジを有するセンサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願平10-529454
出願人:コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
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電流導体を検出し電流導体を流れる電流を測定するための装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-511363
出願人:ルストアントリープステヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
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電流検出器付き半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-282948
出願人:日本電気株式会社
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電流センサ及びこれを内蔵した電気装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-181868
出願人:株式会社日立製作所
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特開平1-153967
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特開昭63-187159
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特開平1-153967
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特開昭63-187159
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