特許
J-GLOBAL ID：200903059740408925

感放射線性樹脂組成物の製造方法

発明者：
岡本 健司

岡本 健司 について

, 
黒川 光雄

黒川 光雄 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-089528
公開番号（公開出願番号）：特開2007-186713
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストに要求される基本性能を満たすとともに、レジスト保管時に異物の発生、増加が起こらない。【解決手段】アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有し、上記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマーを主成分とする低分子量成分が固形分換算にて上記樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物の製造方法であって、 前記酸解離性基含有樹脂は樹脂合成後に溶剤を用いて精製する工程を有し、該精製に用いられる溶剤が全モノマー量に対して6000重量%以下であり、 前記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマー成分が固形分換算にて前記酸解離性基含有樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物の製造方法。
IPC (2件)：
C08F 6/06 ,  G03F 7/039
FI (2件)：
C08F6/06 ,  G03F7/039 601
Fターム (29件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100BA11P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC53P ,  4J100FA19 ,  4J100GB01 ,  4J100GC07 ,  4J100GC26 ,  4J100GC35 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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