特許
J-GLOBAL ID:200903059874433136

溝付き長尺研磨パッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-115881
公開番号(公開出願番号):特開2007-283712
出願日: 2006年04月19日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】 製造工程が少なく、生産性に優れ、研磨層とクッション層との間で剥離することがない溝付き長尺積層研磨パッドの製造方法を提供する。【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、凹構造を有するコンベアベルト10上に気泡分散ウレタン組成物8を連続的に吐出する工程、吐出した気泡分散ウレタン組成物上に面材14を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる溝付き長尺研磨層を作製する工程、溝付き長尺研磨層をコンベアベルトから剥離する工程、及び溝付き長尺研磨層を裁断する工程を含む溝付き長尺研磨パッドの製造方法。【選択図】図2
請求項(抜粋):
メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、凹構造を有するコンベアベルト上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した気泡分散ウレタン組成物上に面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる溝付き長尺研磨層を作製する工程、溝付き長尺研磨層をコンベアベルトから剥離する工程、及び溝付き長尺研磨層を裁断する工程を含む溝付き長尺研磨パッドの製造方法。
IPC (3件):
B29C 39/20 ,  B29C 39/02 ,  B24B 37/00
FI (3件):
B29C39/20 ,  B29C39/02 ,  B24B37/00 C
Fターム (26件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4F204AA42 ,  4F204AD17 ,  4F204AG01 ,  4F204AG03 ,  4F204AG05 ,  4F204AG20 ,  4F204AH81 ,  4F204AJ03 ,  4F204EA01 ,  4F204EA04 ,  4F204EB02 ,  4F204EB13 ,  4F204EB29 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05 ,  4F204EF27 ,  4F204EF36 ,  4F204EK04 ,  4F204EK06 ,  4F204EK24 ,  4F204EL02 ,  4F204EW23
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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