金属用研磨液

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-147136
公開番号（公開出願番号）：特開2009-295747
出願日： 2008年06月04日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

【課題】導体金属とバリヤ金属とを同一のCMP研磨液を使用してワンステップでCMPを終了させることが可能な研磨液を提供する。【解決手段】本発明の化学機械的研磨スラリーは、(1)錯形成剤(溶解剤)、(2)防錆剤、(3)酸化剤、(4)砥粒、(5)電気伝導度上昇のための添加剤としての塩(添加剤)、で構成する。また場合によっては、上記成分に(6)水溶性高分子が添加されていることがある。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

銅または銅合金から成る導体とバリヤ金属とを一つの液で化学的・機械的に研磨するための研磨液であって、(1)錯形成剤、(2)防錆剤、(3)酸化剤、(4)砥粒、及び(5)該研磨液のpH条件での水の酸化電位において安定であるアニオン種を含む塩を少なくとも含み、電気伝導度が0.2 S m-1以上であり、pHが2.0以上であることを特徴とする研磨液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 , B24B 37/00 , C09K 3/14

FI (5件)：

H01L21/304 622D , H01L21/304 622X , B24B37/00 H , C09K3/14 550Z , C09K3/14 550D

Fターム (6件)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA02 , 3C058DA12 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (4件)

銅系基板に有用な化学的・機械的研磨用スラリー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-338809 出願人：キャボットコーポレイション
金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-028992 出願人：富士フイルム株式会社
金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-028993 出願人：富士フイルム株式会社

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審査官引用 (8件)

研磨液
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-182544 出願人：富士フイルム株式会社
化学機械研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-011495 出願人：JSR株式会社
バリア膜用研磨剤
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-348036 出願人：株式会社トクヤマ

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