マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290577
公開番号（公開出願番号）：特開2009-118682
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

【課題】長寿命化及び応答速度の高速化を図り、しかも、被駆動体自体を変形させずに被駆動体の向きのみを変更することを可能にし、更には静定時間を短縮して駆動をより高速化する。【解決手段】板状部材2の両端を脚部3を介して基板1に対して固定する。板状部材2は、基板1に対して固定された箇所間で撓み変形可能である。被駆動体であるミラー4が、接続部11を介して、板状部材2の撓み変形可能な領域の所定部位に、局所的に機械的に接続される。板状部材2の中央部と対向する領域において、基板1上に固定電極5が設けられる。固定電極5とこれに対向する板状部材2の可動電極との間に電圧を印加して両者の間に静電力を発生させると、ミラー4自体は変形することなく、ミラー4の傾きが変化する。基体における板状部材2との対向領域が平坦化され、基板と板状部材2との間の間隔が狭められる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基体と、該基体に支持された板状部材と、駆動力付与手段とを備え、前記板状部材は、前記板状部材の周辺部における全周又はその一部に渡る所定箇所で前記基体に対して固定されて、前記板状部材における前記所定箇所以外の領域で撓み変形可能であり、前記所定箇所は、前記板状部材の前記周辺部において互いに対向する2箇所を含み、被駆動体が、前記板状部材の撓み変形可能な領域のうちの所定部位に局所的に機械的に接続され、前記駆動力付与手段は、信号に応じて、前記板状部材の前記撓み変形可能な領域が撓み変形をして前記板状部材の前記所定部位の傾きが変化するように、前記板状部材の少なくとも一部に駆動力を付与し得るものであり、前記基体における前記板状部材との対向領域が平坦化された、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (4件)：

H02N 1/00 , H01L 21/027 , G02B 26/08 , B81B 3/00

FI (4件)：

H02N1/00 , H01L21/30 529 , G02B26/08 E , B81B3/00

Fターム (35件)：

2H141MA15 , 2H141MB24 , 2H141MB63 , 2H141MC06 , 2H141MD12 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141MD31 , 2H141MD40 , 2H141ME01 , 2H141ME25 , 2H141MF01 , 2H141MF24 , 2H141MG04 , 2H141MZ03 , 2H141MZ15 , 2H141MZ16 , 3C081AA01 , 3C081AA14 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA54 , 3C081BA55 , 3C081BA72 , 3C081CA03 , 3C081CA20 , 3C081EA07 , 3C081EA11 , 3C081EA41 , 5F046BA07 , 5F046CB02 , 5F046CB27

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第3492400号公報
光変調装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-191171 出願人：株式会社リコー

審査官引用 (11件)

静電駆動型MEMS素子とその製造方法、光学MEMS素子、光変調素子、GLVデバイス及びレーザディスプレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-144981 出願人：ソニー株式会社
静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロデバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-158424 出願人：株式会社リコー
マイクロアクチュエータ及びその製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-375094 出願人：株式会社ニコン

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